Probentische und Achsen
ST3271
Probentisch für Wafer und andere runde Proben
- Merkliste
Die Wafertischplatte ST3271 haben wir für die optimale Probenvorbereitung und Oberflächenanalyse von Wafern entwickelt. Die Platte verfügt über einen Slot zum Positionieren, der mit Standardgrößen von Wafertips kompatibel ist. Um die Probe auf einfache Weise zu zentrieren, lässt sich die Tischfläche mit Hilfe von einsetzbaren Pins an Wafer unterschiedlicher Normgrößen sowie andere runde Proben adaptieren.
Die Wafertischplatte ST3271 kann direkt auf eine manuelle Rotationsachse PS3271 oder, für automatisierte Probenanalysen, auf eine softwaregesteuerte Rotationsachse PS3270 aufgesetzt werden. Ideal ist die Verwendung zusammen mit einem Vakuumtisch ST3210, dessen Vakuum die Proben durch die Löcher des Wafertisches hindurch sicher in Position hält.